基于微电子系统(MEMS)加速度地震勘探三分量数字检波器简介A Brief Introduction to Acceleration Triaxial Digital Geophone Based on Microelectronic Mechanical System(MEMS)
张莉,解文荣,李秀荣
摘要(Abstract)：
基于微电子机械系统(MEMS)制成的微加速度三分量数字地震检波器,集数据采集、处理及传输功能于一体,在结构模型、工作原理、性能指标控制等方面不同于常规检波器,其信号幅值在低于自然频率范围内没有衰减。因其独特的制造技术,MEMS检波器具有超低噪声,大动态范围和极高的向量保真度性能。
关键词(KeyWords)： MEMS;传感器;三分量数字检波器;地震仪器
基金项目(Foundation):
作者(Author): 张莉,解文荣,李秀荣